吉时利KEITHLEY源表在统一自动特征分析套件中、集成测试系统整合各种测试硬件,具有全面而*的测量能力:
·吉时利强大的4200-SCS半导体特征分析系统具有I-V源测量功能和专业脉冲测试工具包,用于先进半导体材料测试的4200-PIV工具包。
·2600系列数字源表测试仪具有TSP-Link和测试脚本处理器(TSP),可在运行状态下的NBTI测试或圆片级器件特征分析等应用中实现可扩展的I-V通道系统、高速并行测量和复杂测试序列等功能。
·2400系列数字源表测试仪能够提供高电压和高电流源,可用于高功率MOSFET和显示驱动器测试等领域。
·此外ACS集成测试系统还为用户提供可选择的开关、C表和脉冲发生器等附件。
吉时利KEITHLEY源表其中一些主要应用如:
·通用超快I-V测量。脉冲式I-V测试具有很广泛的应用,它通过使用窄脉冲和/或低占空比脉冲而不是直流信号,能够防止器件自热效应。
·CMOS器件特征分析。4225-PMU/4225-RPM的高速电压源和电流测量灵敏度使得它们非常适合于CMOS器件的特征分析,包括高k器件和先进CMOS工艺,如绝缘体上硅。
·非易失性存储器测试。系统安装的KTEI软件提供了用于闪存和相变存储器器件测试的工具包。该系统非常适合于单个存储单元或小规模存储阵列的测试,例如研发或工艺验证之类的应用。
·化合物半导体器件与材料的特征分析。能够对III-V族材料进行特征分析,例如氮化镓、砷化镓和其它一些化合物半导体。它允许用户设置一个脉冲偏移电压,然后从非零值进行测量,从而研究器件的放大增益或线性度。
·NBTI/PBTI可靠性测试。自动特征分析套件软件还支持全自动晶圆级和晶匣级测试,内置NBTI/PBTI测试库,具有简洁易用的GUI。