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上海坚融实业实验纳米级材料和器件开发测试方案

日期：2014-06-13浏览：1590次

纳米级材料和器件的制造通常始于化学、生物学或半导体器件 / 微电子实验室。纳米级材料和器件的电气测量不仅揭示了电特性，还揭示了纳米微粒的状态密度等一般特性。这些基本特性可用于预测和控制物理特性，例如抗拉强度、颜色以及电导性和导热性。然而，进行有意义的测量需要高灵敏度的仪器以及复杂的探头技术。于纳米技术研究的仪器不断增加，但是用户必须了解所需的测量类型，以及哪种测试系统特点将增加速度和准确度。上海坚融实业有限公司致力于实验纳米级材料和器件的开发测试方案，芝加哥大学K. Elteto 和 X.M. Lin指出由一系列金纳米粒子形成的器件开发过程中，类似纳米线、碳纳米管和纳米晶体的结构常常表现出与众不同的特点。分析这些特点而不损坏*的结构需要能对源进行严格控制的系统，以防止器件自发热。吉时利测量仪器将这种严格控制与超快测量速度和灵敏度结合在灵活、模块化的结构中从而很容易适应不断变化的测试要求。

低电平脉冲测量涉及输出电流脉冲并测量所产生的电压。因为美国吉时利KEITHLEY6221/2812A的组合用于解决在低信号电平、低电平噪声条件下的脉冲特性分析问题。然而，6221/2182A恒流源纳伏表组合与以往所有的测试配置在一些重要方面不相同。一个区别是所有脉冲测量都是差分 (或相对) 测量。这意味着会给测量信号增加误差 (例如偏移、漂移、噪声和热电的 EMF) 的背景电压被消除了。

由于热电压和仪表偏移产生的直流偏移会给测量的电压带来严重误差。

使用 delta 模式测量技术消除偏移。

进行相对测量消除偏移误差。
测量的 delta 电压对电流脉冲产生正确的电压响应。
两点 delta 模式测量的操作是输出电流脉冲并且在每次脉冲之前和脉冲期间各进行一次测量。得到这两次测量的差值就消除了任何恒定的热电偏移，保留了真实的电压值。然而，两点测量法不能消除随时间漂移的热电偏移。使用 delta 方法中的第三个测量点就能消除漂移的偏移量。

一种可选的第三个测量点能帮助消除移动的偏移量。
第三个测量点是可选的，但是并不可取。例如，取决于器件的定时特性，如果输出的电流脉冲对器件有长期效应，那么由于 DUT 脉冲带来的热量，用于取消移动偏移的第三测量点可能包含误差，因此弊大于利。

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